Articles citing this article

The Citing articles tool gives a list of articles citing the current article.
The citing articles come from EDP Sciences database, as well as other publishers participating in CrossRef Cited-by Linking Program. You can set up your personal account to receive an email alert each time this article is cited by a new article (see the menu on the right-hand side of the abstract page).

Cited article:

ОПЫТ КОРРЕКЦИИ ЭФФЕКТОВ БЛИЗОСТИ ПРИ ФОРМИРОВАНИИ ИЗОБРАЖЕНИЯ ТОПОЛОГИЧЕСКОГО РИСУНКА ИС НА ФОТОШАБЛОНЕ МЕТОДОМ ЭЛЕКТРОННОЙ ЛИТОГРАФИИ, "Электронная техника. Серия 3. Микроэлектроника"

А.Н. Беленков, В.А. Овчинников, С.И. Морозов and Н.С. Хрущев
Электронная техника. Серия 3. Микроэлектроника (2) 35 (2022)
https://doi.org/10.7868/S2410993222020075